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贝斯特bst365配置前级泵应考虑哪些问题?
时间 : 2018-09-25 16:04:11  来源:www.68365365.com

贝斯特bst365配置前级泵应考虑哪些问题?
 

贝斯特bst365不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低贝斯特bst365的排出压力,由于贝斯特bst365的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是相当重要的。贝斯特bst365的最大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,最大压缩比最多大3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。因此,选择前级泵的抽速,要根据贝斯特bst365的长期工作压力范围考虑。
 

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例如有一系统用贝斯特bst365机组抽气,要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。
 
先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar。
 
由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。
 
 
1、应考虑预抽时间的要求
 
 
如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,机组装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。
 
 
2、应考虑对贝斯特bst365机组的极限压力的要求
 
 
是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2 Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。
 
当选用往复式或液环式粗真空泵作为贝斯特bst365的前级泵时,前级泵的抽速一般为贝斯特bst365的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成贝斯特bst365的排气温度高而不能正常工作。
 
 
3、还应考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的
 
 
如果含有腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。


 
为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台贝斯特bst365作为另一台贝斯特bst365的前级泵组成的三级或四级机组,此时贝斯特bst365之间的抽速比一般在2~5之间。